Doi Laboratoryの関係する加工装置・計測機器
（以前の研究開発に使用したもので現有ではないが，使用可能性のある設備）

研磨装置

• 　高速圧対応研磨実験装置 SLM-140H(α) （不二越機械工業社製）
• 　プラズマ融合CVM加工実証用実験装置 （不二越機械工業社製）
• 　大型CMPシステム（300mmウエハ対応）
• 　高精度研磨実験装置 RDP-500 （不二越機械工業社製）
• 　高精度卓上小型ラッピングポリシングマシン　NF300HP （NanoFactor社製）
• 　卓上型精密研磨装置 MA-400D　 （ムサシノ電子社製）　　3台
• 　精密研磨装置 LM-15　 （LAPMASTER社製）

計測装置

• 　非接触表面形状測定機　NewView™ 7200　（zygo社製）
• 　ダイナミック超微小硬度計（島津製作所社製）
• 　ゼータ電位・粒径測定システム　ELSZ-2 （大塚電子社製）
• 　3Dレーザ顕微鏡OLS4100 （オリンパス社製）

レーザ加工装置・他

• 　フェムト秒レーザ加工装置 t-pulse 200 （Amplitude Systems社製）
• 　バッチ式ロータリーキルン FUR032PA （アドバンテック社製）